Magnetronové naprašování je jedna z hojně používaných metod vakuové přípravy tenkých vrstev. Mezi její základní výhody patří velká univerzálnost a možnost konstrukce povlakovacích zařízení prakticky neomezených rozměrů. Naprašování se používá například k přípravě tvrdých otěruvzdorných povlaků, metalických vrstev v mikroelektronice, či průhledných vodivých oxidů na displeje a sluneční články. Při reaktivním magnetronovém naprašování se k pracovnímu plynu, nejčastěji argonu, přidává ještě reaktivní plyn, většinou kyslík nebo dusík. Tak je možné za použití kovového terče deponovat vrstvy oxidů a nitridů a snadno měnit stechiometrii vrstev. V naší skupině vyvíjíme modely reaktivního magnetronového naprašování pro popis technologického procesu. Jedním z cílů je nalézt cesty pro zvýšení produktivity zvýšením depoziční rychlosti. Modelování se dále používá pro transfer technologií vyvinutých v laboratorním měřítku na průmyslové systémy. Na obrázku je příklad laboratorní naprašovací aparatury pro povlakování vzorků o průměru 10 cm a průmyslová linka fy. Interpane na povlakování skleněných tabulí o rozměrech 3x6 m. Roční produkce linky je několik miliónů m2 povlaků.
Laboratorní povlakovací systém pro magnetronové naprašování. |
Povlakovací linka firmy Interpane v Lauenferdu.(C) Interpane Lauenförde |
