TCAD - simulace polovodičových struktur a technologií

Složitost současných polovodičových součástek a požadavek jejich rychlého vývoje vyžaduje intenzivní vyžití počítačových prostředků. V posledních 10 letech se tak velmi intenzivně rozvinul obor nazývaný Technology Computer Aided Design (TCAD). Ten umožňuje simulaci výrobních procesů polovodičových struktur a součástek a v přímé návaznosti také simulaci jejich elektrické činnosti v reálných aplikačních obvodech včetně extrakce elektrických parametrů. To umožňuje pochopit a ověřit chování nově vyvíjených struktur ještě před jejich výrobou a měřením. To ale platí pouze za předpokladu, že používaný simulátor disponuje modely fyzikálních jevů, které dané struktury využívají a že tyto modely mají správně nastaveny potřebné parametry - jsou zkalibrovány. Kalibrace parametrů nově vyvíjených technologií představuje jeden z výzkumných směrů v oblasti TCAD naší skupiny. Důkladná znalost simulačních postupů a kalibrace umožňuje profesionální využití těchto prostředků, které je mimo jiné vyžadováno našimi průmyslovými partnery. Naše skupina začala využívat nástroje TCAD jako první v ČR, následně je zavedla do výuky a v ČR je trvale hlavním pracovištěm v tomto oboru.

Za stránku zodpovídá: Ing. Mgr. Radovan Suk